10月16日，2024集成電路關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)合作大會在德州天衢新區(qū)召開，這已是天衢新區(qū)第三年承辦國家級產(chǎn)業(yè)盛會。經(jīng)濟導(dǎo)報記者了解到，自2013年至今共11年間，德州天衢新區(qū)的新一代信息產(chǎn)業(yè)從無到有、從有到優(yōu)、從優(yōu)到精，產(chǎn)值增速創(chuàng)造“70倍奇跡”。
近年來，山東堅持把新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)作為“十強”產(chǎn)業(yè)之首，高位推動信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)快速高效發(fā)展，以德州等城市為原點，山東在新一代信息技術(shù)全國產(chǎn)業(yè)版圖中獲得一席之地。
龍頭企業(yè)引領(lǐng)原創(chuàng)產(chǎn)品和技術(shù)
山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司（下稱“有研艾斯”）位于德州天衢新區(qū)布局的集成電路關(guān)鍵材料基地內(nèi)。在這里，一根根單晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，經(jīng)過倒角、研磨、拋光等40余道工序后，就形成了出廠成品，待統(tǒng)一檢查包裝后發(fā)往全國各地。據(jù)悉，有研艾斯此前攻克了單晶微缺陷、硅片平整度、表面玷污等關(guān)鍵技術(shù)難題，成為當(dāng)前省內(nèi)唯一能生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)。
有研艾斯相關(guān)人士介紹，“硅片直徑越大，對材料和技術(shù)的要求就越高，制造難度也越大，生產(chǎn)過程涉及亞微米甚至納米級別的結(jié)構(gòu)，工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)一致性、單臺設(shè)備產(chǎn)能和產(chǎn)品單位成本持續(xù)降低控制等都是需要考慮的因素。”
據(jù)了解，12英寸硅片技術(shù)參數(shù)要求較高，各工藝環(huán)節(jié)需要長期積累，其中單晶工藝是最為核心的技術(shù)，其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯、晶體缺陷。隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精細化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來較長時間內(nèi)的主流產(chǎn)品。
山東有研半導(dǎo)體材料有限公司、有研艾斯、有研億金新材料（山東）有限公司……德州是中國有研科技集團有限公司（下稱“有研集團”）在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。據(jù)了解，目前，有研集團已投資近百億元，共布局了7個產(chǎn)業(yè)鏈項目，德州天衢新區(qū)涵蓋主要6個項目，可年產(chǎn)各類硅片900余萬片、靶材4.3萬塊、12至18英寸硅單晶400余噸。
產(chǎn)業(yè)規(guī)模增長約70倍
據(jù)介紹，自2013年威訊聯(lián)合半導(dǎo)體（德州）有限公司落戶開始，德州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)強力起勢，逐步形成單晶硅材料、芯片設(shè)計、封裝測試、設(shè)備材料、終端應(yīng)用的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。
2018年，德州與有研集團“牽手”，合作建設(shè)集成電路關(guān)鍵材料基地，規(guī)劃面積近千畝，德州天衢新區(qū)由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向集成電路產(chǎn)業(yè)延伸拓展，發(fā)展駛?cè)肟燔嚨馈４撕螅醒邢档?2英寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料及硅片擴產(chǎn)等六大項目相繼落地，總投資近百億元。全部達產(chǎn)后，8英寸硅片將占國內(nèi)市場份額10%、12英寸硅片占國內(nèi)市場份額20%，高端靶材占全球市場份額20%以上。“將這些高端項目集聚在一個基地，放眼全國也不多。”德州天衢新區(qū)黨工委委員、管委會副主任李濤表示。
今年，總投資50億元的激光雷達及傳感器件產(chǎn)業(yè)化項目落戶德州天衢新區(qū)并開工建設(shè)。作為第二代半導(dǎo)體領(lǐng)域的鏈主，該項目具備垂直一體化生產(chǎn)能力，可為多家企業(yè)提供配套服務(wù)。至此，德州天衢新區(qū)形成了從襯底外延、芯片制造、封裝測試、器件模組到終端應(yīng)用的完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)，憑借長且豐富的產(chǎn)業(yè)鏈，進軍為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的一名“優(yōu)等生”。
項目招來了，還更要留得住、發(fā)展好。德州天衢新區(qū)超前實施產(chǎn)業(yè)布局，規(guī)劃打造“兩區(qū)+四園”。其中，“兩區(qū)”指3000畝的集成電路和電子信息產(chǎn)業(yè)，“四園”即76萬平方米的電子信息產(chǎn)業(yè)園、手機制造產(chǎn)業(yè)園、智能終端產(chǎn)業(yè)園、京津冀創(chuàng)新轉(zhuǎn)化中心。德州市有90%的新一代信息技術(shù)規(guī)上企業(yè)在此集聚，實現(xiàn)了“引來一家企業(yè)、帶來一片產(chǎn)業(yè)、興起一個園區(qū)、激活一座城市”的規(guī)模效應(yīng)。
據(jù)介紹，目前，德州天衢新區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展勢頭向上向好、效益明顯提升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模由2013年的1.27億元增至2024年的90.6億元，11年間增長了約70倍。
（大眾新聞·經(jīng)濟導(dǎo)報記者 于婉凝 謝衛(wèi)振）
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